三星電子美國泰勒廠啟動EUV光刻機調試 作者: 時間:2026-04-08 來源:SEMI 加入技術交流群 掃碼加入和技術大咖面對面交流海量資料庫查詢 收藏 據韓媒報道,三星電子位于美國得克薩斯州泰勒市的2nm晶圓廠已進入試運營階段,EUV光刻機的測試已啟動,蝕刻和沉積流程的主要設備也正分階段導入,為今年內的初步運營和2027年的全面投產做好準備。據了解,該工廠2nm工藝的每月晶圓產能目標從最初的2萬片上調至5萬片。按照規劃,泰勒工廠的每月晶圓產能有望在2027年達到10萬片。
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