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三星電子美國泰勒廠啟動EUV光刻機調試

作者: 時間:2026-04-08 來源:SEMI 收藏

據韓媒報道,電子位于美國得克薩斯州泰勒市的2nm晶圓廠已進入試運營階段,的測試已啟動,蝕刻和沉積流程的主要設備也正分階段導入,為今年內的初步運營和2027年的全面投產做好準備。

據了解,該工廠2nm工藝的每月晶圓產能目標從最初的2萬片上調至5萬片。按照規劃,泰勒工廠的每月晶圓產能有望在2027年達到10萬片。



關鍵詞: 三星 EUV光刻機

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