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KLA-Tencor 為領先的集成電路技術推出檢測與檢查系列產品
- 今天,在美國西部半導體設備暨材料展 (SEMICON West) 上,KLA-Tencor 公司宣布推出四款新的系統—— 2920 系列、Puma™ 9850、Surfscan® SP5 和 eDR™-7110 ——為 16nm 及以下的集成電路研發與生產提供更先進的缺陷檢測與檢查能力。2920 系列寬波等離子圖案晶圓缺陷檢測系統、Puma 9850 激光掃描圖案晶圓缺陷檢測系統和 Surfscan SP5 無圖案晶圓缺陷
- 關鍵字: KLA-Tencor 晶圓 檢測儀
