中微公司2月27日發布2025年度業績快報。

公告顯示，中微公司2025年營業收入約123.85億元，較2024年增加約33.19億元，同比增長約36.62%；實現歸屬于母公司所有者的凈利潤約為21.11億元，與上年同期相比，增加約4.96億元，同比增加約30.69%。

中微公司表示，公司業績增長主要受益于半導體設備市場發展及公司產品競爭優勢，主營產品等離子體刻蝕設備作為半導體前道核心設備之一，市場空間廣闊，技術壁壘較高。等離子體刻蝕設備在國內外持續獲得更多客戶的認可，針對先進邏輯和存儲器件制造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，先進邏輯器件中段關鍵刻蝕工藝和先進存儲器件超高深寬比刻蝕工藝實現量產。

其中刻蝕設備在2025年的銷售收入約為98.32億元，同比增長約35.12%；LPCVD和ALD設備銷售約5.06億元，同比增長約224.23%。

由于市場對開發多種新設備的需求急劇增長，2025年中微公司加大研發力度。公告顯示，2025年中微公司研發投入約37.44億元，較去年增長12.91億元，同比增長約52.65%，2025年研發投入占該公司營業收入比例約為30.23%，遠高于科創板均值。2025年其研發費用為24.75億元，較去年增長約10.58億元，同比增長約74.61%。

中微公司近兩年新開發出十多種導體和介質薄膜設備，目前已有多款新型設備產品進入市場，其中部分設備已獲得重復性訂單，LPCVD設備累計出貨量突破三百個反應臺，其他多個關鍵薄膜沉積設備研發項目正在順利推進；中微公司EPI設備已順利進入客戶端量產驗證階段。

此外，中微公司幾款MOCVD新產品進入客戶端驗證階段，新型八寸碳化硅外延設備、新型紅黃光LED應用的設備已付運至國內領先客戶開展驗證，目前進展順利。