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ECI Technology的化學檢測系統成功在歐洲知名半導體研究中心裝載

作者: 時間:2009-03-09 來源:電子產品世界 收藏
        全球領先的濕法化學度量技術供應商 Technology近日宣布一家歐洲知名的半導體研究中心成功裝載了On-Line Quali-Line QLC-7500 Chemical Monitoring System()。 Technology將在近期舉行的SEMICON China中參展,展位號是4722。

        QLC-7500是一臺在線分析設備,可用來監測和控制(TSV)銅淀積工藝。它能精確測量電鍍和填充工藝中無機成分和所有有機添加物的濃度。QLC-7XXX化學檢測系統是銅電鍍(大馬士革)工藝最常用的分析設備,全球主要的半導體制造商均選擇該系列設備。

本文引用地址:http://www.cqxgywz.com/article/92191.htm


關鍵詞: ECI CMS 硅通孔

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