此法是20世紀50年代中期出現并在以后逐漸發展起來的一種新型的儀器分析方法，它在地質、冶金、機械、化工、農業、食品、輕工、生物醫藥、環境保護、材料科學等各個領域有廣泛的應用。該法主要適用樣品中微量及痕量組分分析。

　　每一種元素的原子不僅可以發射一系列特征譜線，也可以吸收與發射線波長相同的特征譜線。當光源發射的某一特征波長的光通過原子蒸氣時，即入射輻射的頻率等于原子中的電子由基態躍遷到較高能態(一般情況下都是第一激發態)所需要的能量頻率時，原子中的外層電子將選擇性地吸收其同種元素所發射的特征譜線，使入射光減弱。特征譜線因吸收而減弱的程度稱吸光度A，與被測元素的含量成正比。

　　原子吸收對純水中的離子含量要求比較苛刻，水質要達到超純水級別即電阻率達到18兆歐以上。另外對吸光度以及TOC和微生物都有要求。