隨著工業的發展壯大，越來越多的企業對真空泵的需求也越來越大，相對于國外的真空泵廠家，國內的真空泵生產水平也越來越高，真空泵的競爭越來越大。本文想要介紹一下進口無油真空泵，所謂無油是指在泵腔內不使用油類和液體，而傳動的齒輪和軸承還需要油類潤滑，只是油蒸氣不允許進入泵的吸氣口。我們一起來研究一下無油真空泵在干蝕刻工藝中的應用。

蝕刻工藝可分為鋁質金屬蝕刻、多晶矽類的蝕刻、氧化膜的蝕刻等，金屬類的蝕刻會產生大量反應副產物，對真空泵的負荷會很大。

多晶矽膜、氧化矽膜等的蝕刻使用CF₄，HBr，SF₆等氣體，反應副產物較少，升華溫度較低，可以氣態形式排出泵外。鋁質金屬的蝕刻則使用三氯化硼等氯化氣體，會產生大量的四氯化鋁，升華溫度高，很容易附著在溫度低的部位，未發生反應的氣體又多半屬于腐蝕性較強的。在鈦的蝕刻中常使用氟化系氣體，其特性類似于氯化系氣體。

干蝕刻生產中多用到氟、氯、溴化物系等腐蝕性較強的氣體，這些氣體與水結合變成強酸，有強烈腐蝕性。因此，要求泵和管道材料具有高度耐腐蝕性能。

意大利無油真空泵優于其油基泵的優勢

大多數類型的真空泵使用油來潤滑密封件，這種油具有相當大的缺點。它會導致油霧的形成，這對泵的維護提出了挑戰。這個問題的最佳解決方案是使用粗加工或前線陷阱來減少或消除回流油。無論這種措施如何，如果油通過捕集器的系統側，它就會成為蒸汽源，不能防止其進入系統。另一方面，在進行簡單維護時，例如在通過需要額外清潔檢查油是否通過時，油阱使其更加困難。無油真空泵 開發是為了通過徹底消除石油來克服油基泵所面臨的挑戰。

無油真空泵是環保的，不會造成油污染。它消除了煩人的氣味以及廢油去除的麻煩和成本。通常，無油泵更有效，更靈活和可靠。它們具有更高的前線壓力，通過實現比機械泵更高的真空度來改善其性能。通過采用無油機器，節省購買油過濾配件，特殊油和疏水閥的成本。

油基泵通常需要定期維護和注意，并經常遇到速度損失。另一方面，無油真空泵始終始終全速運轉。他們可以在不需要檢查或維護的情況下提供數千個服務時間。

在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿足需要。最后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，必須要用特殊的材質才能滿足需求。

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