晶圓代工龍頭臺積電正式將赴美國設立晶圓廠列入選項，且目標直指最先進且投資金額高達5000億元的3納米制程。臺灣地區媒體報道稱，臺積電3納米出走將撼動全球半導體江山。
擔憂臺灣代工基地空氣不佳、電力不穩
臺媒引述指出，臺積電政策轉向，主因是南科高雄園區路竹基地，環評作業完成時間可能無法配合臺積電需求，加上空氣品質及臺灣電力后續穩定不佳，也是干擾設廠的變數。
臺積電表示，南科高雄園區路竹基地也未排除在外，持續觀察，選地尚未決定。至于電力問題，臺積電重申，考慮設廠地點，水、電、土地、人才，
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臺科技部長陳良基15日接受經濟日報專訪時表示,他上任后主動拜會臺積電董事長張忠謀等科技大老,對臺積電3納米計劃需求,政府將全力協助,也會特別關注半導體產業,并從近程及長期著手協助產業升級。
對于空污總量管制等環保要求,會否影響臺積電3納米進程,陳良基說:「我比較審慎樂觀。我有看到臺積電對3納米需求,水電、土地、空污等因應措施,并沒有不能解決的悲觀?！顾㈩A言,以人工智能(AI)技術為主的沛星互動科技(Appier),十年后有可能成為另一個「臺積電」。
陳良基說,他跟張忠謀常碰面,上任后
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在剛剛閉幕的2016年ITF(IMEC全球科技論壇)上，世界領先的獨立納米技術研究機構——IMEC的首席執行官Luc van den Hove指出，“scaling(尺寸縮小)還會繼續，我不僅相信它將會繼續，而且我認為它不得不繼續。”
他認為，目前從技術層面來說，FINFET、Lateral Nanowire(橫向納米線) 和Vertical Nanowire(縱向納米線)已經可以幫我們持續推進到3nm的制程節點。EUV光刻技術將是未來的唯一選擇。
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