- IMEC已成功演示利用ASML最先進的極紫外（EUV）設備，實現納米孔徑的全晶圓級制備。ASML的產品傳播經理稱其為“意外地出色的生物醫學應用”，這可能是一項重要進展，因為納米孔開辟了分子感測的可能性。納米孔的特性在生物醫學中備受關注。正如你可能從詞源中推斷的，納米孔本質上是幾納米寬的微小孔洞。用更貼近生活的說法來說，這些毛孔的直徑大約是人類頭發的一萬倍。這么微小的穿孔有什么用？納米孔可以被生物醫學傳感器利用，因為分子與其相互作用的方式。它們在檢測中的科學原理是：測量到流經納米孔的離子電流，分子通過時會產
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ASML芯片 極紫外光刻機 生物醫學 分子傳感納米孔
- 芯研所消息，ASML第一臺全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機系統已經交付給客戶，和前代產品相比生產力提高了約15-20％，套刻精度提高了約30％。據了解，本次交付的TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機的EUV光源波長13.5nm左右，物鏡NA數值孔徑0.33，第二代EUV光刻機將會是NXE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進一步提高光刻精度。ASML表示，正努力增加EUV光刻機在存儲行業的量產應用，計劃協助三個DRAM內存芯片客戶在未來的工藝節點中導入EUV。
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ASML 極紫外光刻機
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