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中微中標9臺長江存儲蝕刻機 國產閃存用上國產半導體裝備
- 紫光旗下的長江存儲在2019年9月份正式量產了國內首個64層堆棧的3D閃存,容量256Gb,TLC芯片,2020年長江存儲還會進一步提升產能,年底將達到每月6萬片晶圓的水平,是初期產能的10倍。擴大產能就意味著要購買更多的半導體生產設備,其中光刻機還只能依賴進口,但是其他設備有望加大國產采購力度。1月2日,上海中微半導體宣布中標了9臺蝕刻機,而2019全年他們中標的也不過13臺。蝕刻機是芯片制造中的一種設備,與光刻機、MOCVD并稱為三大關鍵性半導體生產設備,它主要用來在芯片上進行微觀雕刻,每個線條和深孔
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