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一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路設計

作者: 時間:2011-12-23 來源:網絡 收藏

設壓控振蕩器的輸出為Vppcosθ,靜電驅動力為Fdcosθ,位移x=acos(θ+φ),則
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采用平均方法對式(11)進行化解,由于θ的變化速度要遠遠>φ和VLF的變化速度,根據平均方法,sin(2θ+2φ)、cos(2θ+2φ)、cos(2θ+φ)均為0,則式(11)可化解為
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對于式(12)和式(13)組成的一階微分方程組,可以通過勞斯判據判定其穩定性,其穩態下的Jacobian矩陣為
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